金属氧化物湿敏元件由于电阻值与相对湿度的特性为非线性，而且存在着温度系数，因此它们在使用中存在互换性差。温敏元件的这种特性，要求在电路设计中必须考虑线性化处理和温度补偿问题，如若不然，将会使测量误差增大到无法使用的地步。
具有线性化处理及温度补偿功能的金属氧化物温敏元件应用电路框图
具有线性化处理及温度补偿功能的金属氧化物温敏元件实际应用电路
在图21-20中，由IC1及外围元件组成低频振荡器在它的反馈回路中串有两个LED发光二极管VD2、VD3，以提高振荡幅值的稳定性。振荡器可输出频率为900Hz、1.3V的正弦波信号，作为湿敏元件的工作电压源。
IC2与外围元件组成对数压缩电路，它是利用硅二极VD4、VD5正向电压与电流成对数关系的特性来实现对数压缩的，从而实现续性化处理，用来补偿湿敏元件的非线性。由于硅二极管VD4、VD5具有-2mV/℃的温度特性，所以可以对湿敏元件起到一定的温度补偿作用，但这种补偿是初步的，可能过大或过小。为了得到精确的补偿效果，在由IC4组成的放大电路中，设置了由VD8及RP1等组成的温补电路，通过调节RP1，可获得理想的温度补偿。IC3组成整流电路，整流后的直流电压经IC4放大后输出。