金属氧化物陶瓷湿敏元件是当今湿敏元件的发展方向，近几年来世界上许多国家通过研究发现了不少能作为电阻型湿敏多孔陶瓷的材料，如LaO3-TiO3、SnO2-Al2O3-TiO2、La2O3-TiO2-V2O5、TiO2-Nb2O5及MnO2-Mn2O3等。
金属氧化物陶瓷湿敏元件是由金属化合物多孔性陶瓷烧结而成的。烧结体上有微细孔，可以使湿敏层吸附或释放水分子，造成其阻值的改变。
金属氧化物陶瓷湿敏元件的
般结构形式是在多孔状陶瓷体的两端有多孔电极，电极由引线引出元件的外部。在电极的外部还设置有过滤层，以防恶劣环境对元件性能产生影响。整个元件安装在塑料外壳内，如图所示。
金属氧化物陶瓷湿敏元件一般结构电路图
为了减少湿敏元件的测量误差，有的金属氧化物陶瓷湿敏元件在陶瓷片的外围设置有加热线圈，以便对元件进行加热清洗，排除恶劣气氛对元件的污染。整个器件安装在陶瓷基片上，如图所示。
金属氧化物陶瓷湿敏元件具有测湿范围宽、稳定性好、寿命长以及耐环境能力强等特点。由于金属氧化物的电阻值与湿度的关系为非线性，而其电阻的对数值与湿度的关系呈线性，因此在电路处理上应加入线性化处理单元。另外，由于金属氧化物陶瓷湿敏元件有一定的温度系数，在应用时还需进行温度补偿。