探访英特尔Fab18工厂 - 探访英特尔中外芯片晶圆厂:CPU是怎样炼成的?

秩名 发表于 2012-09-08 11:35 | 分类标签:芯片晶圆晶圆厂CPU


 

  下面我们进入到今天的主角—Fab18工厂一探究竟。

  

  Fab18工厂外观

  Intel Fab18建立于1999年,那个年代主要负责制造Pentium III晶圆片。后来升级到了90 nm制造工艺而且现在也生产重心也转移到了制造Pentium 4 CPU晶圆片、芯片组和闪存颗粒上,员工总数约3,700人。

   Fab18占地面积大约两个英式足球场大小,为了保持无尘环境投入了很高成本,不过,并非所有的车间都需要这种无尘的环境。有趣的是,地面并非是我们平 常所了解的硬地板,而是采用的一种类似于网状的设计,但是非常的坚固,目的是保持空气的流通。房间的空气,每4分钟就要完全的更换一次。

  

  Fab18生产车间

   图片上是其中的一个无尘车间,可以注意一下地板。工作人员必须穿防尘服,免得让晶圆遭受污染。远处技术人员所抱的“黑匣子”名字叫“lot”,里面装的 就是晶圆。他要做的是把这个“lot”安装在一个机器(或者是叫处理工具)当中。基于成本方面的考虑,只有“lot”入口是在无尘房间中,而其他部分是在 低于无尘等级的“chase”当中。

  

  晶圆生产设备

  这就是我们刚才提到的“chase”车间(留意地板)。这就是处理那些晶圆片的机器,也就是处理刚才技术人员抱着的“lot”。


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