光刻机是集成电路制造的关键核心设备，为了在更小的物理空间集成更多的电子元件，单个电路的物理尺寸越来越小，主流光刻机在硅片上投射的光刻电路分辨率达到50-90nm。
2016-12-13 02:04:11
12251 随着半导体技术的发展，光刻技术传递图形的尺寸限度缩小了2～3个数量级（从毫米级到亚微米级），已从常规光学技术发展到应用电子束、 X射线、微离子束、激光等新技术；使用波长已从4000埃扩展到 0.1埃
2012-01-12 10:51:59
有人知道 为什么光刻完事 剥离那么容易脱落呢 怎么避免呢
2012-06-26 12:40:30
本帖最后由 iweimo 于 2014-10-20 15:07 编辑
先分享光刻的参考资料。============================2014-10-17========光刻分类
2014-09-26 10:35:02
一、光刻胶的选择光刻胶包括两种基本的类型：正性光刻和负性光刻，区别如下
2021-01-12 10:17:47
关于光刻工艺的原理，大家可以想象一下胶片照片的冲洗，掩膜版就相当于胶片，而光刻机就是冲洗台，它把掩膜版上的芯片电路一个个的复制到光刻胶薄膜上，然后通过刻蚀技术把电路“画”在晶圆上。 当然
2020-07-07 14:22:55
芯片制造流程其实是多道工序将各种特性的材料打磨成形，经循环往复百次后，在晶圆上“刻”出各种电子特性的区域，最后形成数十亿个晶体管并被组合成电子元件。那光刻，整个流程中的一个重要步骤，其实并没有
2020-09-02 17:38:07
MEMS、芯片封装和微加工等领域。目前，直接采用 SU8光刻胶来制备深宽比高的微结构与微零件已经成为微加工领域的一项新技术。在微流控芯片加工中，SU-8主要用于快速模塑法加工PDMS微流控芯片。运用
2018-07-12 11:57:08
（电子科技大学 微电子与固体电子学院，成都 610054）摘 要：光刻胶技术是曝光技术中重要的组成部分,高性能的曝光工具需要有与之相配套的高性能的光刻胶才能真正获得高分辨率的加工能力。主要围绕光刻
2018-08-23 11:56:31
光刻胶也称为光致抗蚀剂，是一种光敏材料，它受到光照后特性会发生改变。光刻胶主要用来将光刻掩膜版上的图形转移到晶圆片上。光刻胶有正胶和负胶之分。正胶经过曝光后，受到光照的部分变得容易溶解，经过显影后被
2019-11-07 09:00:18
半导体制造领域的标志：NR9-PY 系列负性光刻胶，适用于lift-off工艺；具有高效粘附性，高反应速度并耐高温性能好。 NR71-PY 系列 负性光刻胶，适用于lift-off工艺，耐高温性能好
2010-04-21 10:57:46
无线传感器网络是近年来信息技术领域的一个研究热点，它融合了传感器、计算机科学、信号与信息处理、通信等多个领域的技术。作为一个新兴的、正在发展的技术领域，业界对其研究正在不断深入。无线传感器网络为人
2019-11-05 07:15:16
、芯片封装和微加工等领域。目前，直接采用 SU- 8 光刻胶来制备深宽比高的微结构与微零件已经成为微加工领域的一项新技术。SU 8光刻胶光刻前清洗工艺：为了获得更好的光刻效果，在进行光刻胶旋涂之前，需要
2018-07-04 14:42:34
PROFINET技术在工业自动化领域的应用是什么？
2021-05-26 06:11:38
的相关基础知识，是一本不可多得的、相对全面的图像传感技术领域专著。《数码相机中的图像传感器和信号处理》原作者中村淳及合作者均是图像传感领域的资深从业者，相信他们的经验将为国内相关领域的从业者提供很好
2017-06-26 18:08:15
三种常见的光刻技术方法根据暴光方法的不同,可以划分为接触式光刻,接近式光刻和投影式光刻三种光刻技术。 ◆投影式暴光是利用透镜或反射镜将掩膜版上的图形投影到衬底上的暴光方法.在这种暴光方法中,由于掩膜
2012-01-12 10:56:23
人脸识别技术最新发展与研究 2013年全国图形图像技术应用大会将在十一月初召开，本次大会大会将邀请国内图像图形处理技术领域的著名专家，就图像图形处理技术的应用和最新动态做特邀报告。并邀请图像图形技术
2013-09-25 16:08:41
皇家飞利浦电子公司宣布在超薄无铅封装技术领域取得重大突破，推出针对逻辑和 RF 应用的两款新封装：MicroPak?II 和 SOD882T。MicroPakII 是世界上最小的无铅逻辑封装，仅 1.0mm2，管脚间距为 0.35mm。
2019-10-16 06:23:44
全国高技术重点图书·通信技术领域_现代通信中的排队论
2012-08-18 20:32:21
，小米9pro，oppo Reno3以及vivo X30）分别采用了什么芯片？ 3协同通信的方式有哪些？ 4大数据及认知无线电（名词解释） 4半导体工艺的4个主要步骤： 4简叙半导体光刻技术基本原理 4给出4个全球著名的半导体设备制造商并指出其生产的设备核心技术： 5卫
2021-07-26 08:31:09
可重构计算技术在汽车电子领域的应用前景可重构计算技术在汽车电子领域面临的问题
2021-05-12 06:40:18
哪些领域可以采用.NET Micro Framework技术？NET Micro Framework与Window CE和Windows XP Embedded的区别在哪？
2021-10-09 07:07:25
哪些领域可以采用NET Micro Framework技术？NET Micro Framework与Window CE和Windows XP Embedded的区别？NET Micro Framework与其他NET平台的区别？
2021-07-05 07:07:04
中国科学院大学（以下简称国科大）微电子学院是国家首批支持建设的示范性微电子学院，国科大微电子学院开设的《集成电路先进光刻技术与版图设计优化》课程是国内少有的研究讨论光刻技术的研究生课程，而开设课程
2021-10-14 09:58:07
寻找电源领域的最新技术
2020-12-03 06:25:28
定位技术在网络安全领域中的应用是什么
2021-05-28 07:00:03
市场经济下每一个技术领域的竞争都是一场丛林法则的生动演绎。随着物联网和大数据等新兴应用的爆发增长，存储器领域的丛林法则年年都在上演“生动”的故事。
2019-10-17 06:09:46
带着好奇心我来到这里，带着兴趣，我有种归属感，我相信自已会对这个领域逐渐升温，最后达到热忱，2013.3.21!
2013-03-21 18:57:34
近日，德州仪器Pradeep Shenoy发表文章《寻找电源领域的最新技术？来APEC一探究竟》，以下是全部内容： logo
2020-08-05 06:03:21
无线技术领域已经形成了三大国际标准，分别是由HART基金会发布的WirelessHART标准，ISA国际自动化协会（原美国仪器仪表协会）发布的ISA100.11a标准、和我国自主研发的WIA-PA
2018-10-19 10:50:56
`针对目前无线充电技术领域的发展现状，明白国内的技术研发与国外有着相当的领域。同时，在学以致用领域差距更大。希望通过该联盟促进技术的研发和实用的发展。不知道大家有没有兴趣，请留贴统计。`
2015-09-04 13:45:21
指纹技术在汽车领域里的应用现状如何？指纹技术在汽车领域内的应用前景预测
2021-05-12 07:14:28
数字医疗变革或将回归核心技术领域
2020-12-08 06:43:37
`楼宇自动化系统是智能建筑最核心的部分，有巨大的市场潜力和增长空间。今天我们请到楼宇控制技术领域专家，Enocean高级研发工程师鲍驰晨，一起分享这个领域的知识。专家观点： Enocean易能森的三
2017-03-16 18:51:32
模拟/混合器件在各个领域的应用
2021-04-08 06:39:02
视频监控技术在火灾报警领域有哪些新突破？
2021-06-01 06:47:05
的应用开发实力和经验三、Spectra-Physics(光谱物理)激光器概述 长期以来，光谱-物理一直被是激光技术领域服务全球客户领导者。50年的发展历程光谱-物理设计、研发、制造了一系列世界
2011-12-01 11:48:46
本文从超宽带认知无线电适配信号的产生、功率传输控制和分布式节点间的合作三个方面，对当前该技术领域的关键技术进行了详细的介绍和分析。
2021-05-26 06:51:23
。IBM采用0.18um光刻工艺制成的120GHz Ft SiGe晶体管是一个很好的例子。 处理这一例子，锗化硅工艺技术还在哪些高速通信领域应用呢？
2019-07-30 07:56:50
音频创新技术有哪些优势？音频创新技术主要应用在哪些领域？
2021-06-16 08:33:29
EUV主要用于7nm及以下制程的芯片制造，光刻机作为集成电路制造中最关键的设备，对芯片制作工艺有着决定性的影响，被誉为“超精密制造技术皇冠上的明珠”，根据之前中芯国际的公报，目...
2021-07-29 09:36:46
本文对信息技术的发展趋势和应用状况作了简单的阐述, 对我国无损检测技术领域应用信息技术的现况进行了分析, 认为应该把在无损检测技术领域开拓应用信息技术作为一个重
2010-01-30 13:57:25
14 GK-1000光刻掩膜版测温仪，光刻机曝光光学系统测温仪光刻机是一种用于微纳米加工的设备，主要用于制造集成电路、光电子器件、MEMS（微机电系统）等微细结构。光刻机是一种光学投影技术，通过将光线通过
2023-07-07 11:46:07
主要介绍了集成门极换流晶闸管(IGCT)的光刻技术。IGCT器件的光刻次数多，精度要求高，如何保证光刻质量是关键。根据IGCT光刻的特点，从光刻机的性能、光刻胶的选用以及刻
2010-06-24 16:48:4314 提要：本文讨论了光学光刻中的离轴照明技术。主要从改善光刻分辨率、增大焦深、提高空间像对比度等方面对离轴照明与传统照明作了比较，并用 仿真软件进行了模拟分析。研
2010-11-11 15:45:020 Infineon/英飞凌科技与诺基亚在EDGE技术领域展开合作
英飞凌科技股份有限公司宣布与全球头号手机厂商及互联网与通信融合技术领袖诺基亚签署一项
2009-05-08 10:23:54620 雅迪公司领先于连接器与工业网路技术领域市场
德资雅迪HARTING公司(成立于1945年)是连接器与工业网路技术领域的市场领先者，可根据客户需求开发连接解决方案和产
2010-03-12 10:49:26996 
22nm以后的晶体管技术领域，靠现行Bulk MOSFET的微细化会越来越困难的，为此，人们关注的是平面型FD-SOI（完全空乏型SOI）元件与基于立体通道的FinFET。由于这些技术都不需要向通
2010-06-23 08:01:42559 光刻胶与光刻工艺技术 微电路的制造需要把在数量上精确控制的杂质引入到硅衬底上的微小 区域内,然后把这些区域连起来以形成器件和VLSI电路.确定这些区域图形 的工艺是由光刻来完成的,也就是说,首先在硅片上旋转涂覆光刻胶,再将 其曝露于某种光源下,如紫外光,
2011-03-09 16:43:210 本文提到MEMS技术中所应有的光刻技术，帮助读者了解光刻技术的原理，应用。
2016-04-28 11:35:320 网上学习资源参差不齐、分散无系统，给爱学习、努力想提高的你是不是造成很多困扰呢？ 与其他学习平台不同，CSDN知识库不是随机地、一股脑地向您推算大量文章，而是首先梳理各技术领域知识图谱，再以
2017-10-10 10:15:080 光学光刻是通过广德照射用投影方法将掩模上的大规模集成电路器件的结构图形画在涂有光刻胶的硅片上，通过光的照射，光刻胶的成分发生化学反应，从而生成电路图。限制成品所能获得的最小尺寸与光刻系统能获得
2018-04-17 16:07:4133630 光刻技术是集成电路最重要的加工工艺。在整个芯片制造工艺中，几乎每个工艺的实施，都离不开光刻技术。光刻也是制造芯片的最关键技术，占芯片制造成本的35%以上。
2018-04-22 17:54:003147 前不久，中芯国际花重金订购了ASML的光刻机，将于2019年到货。这边，长江存储4.6亿订购光刻机昨日到货，运抵武汉，我国两家芯片公司先后订购光刻机，彰显了核心技术领域努力追赶的决心。
2018-05-21 09:34:138475 光学光刻是通过广德照射用投影方法将掩模上的大规模集成电路器件的结构图形画在涂有光刻胶的硅片上，通过光的照射，光刻胶的成分发生化学反应，从而生成电路图。限制成品所能获得的最小尺寸与光刻系统能获得
2018-06-27 15:43:5011776 中国在哪些技术领域上相对美国优势较大？
家用电器、铁路、太阳能电池板、钢铁……
中国在哪些技术领域上与美国差距较大？
医药、生物技术、医疗器械、半导体、计算机系统软件、商业航空……
2018-07-21 09:37:4627170 
在生物学和医学领域，研究人员通常利用显微技术观察肉眼无法看到的细胞和分子的细节。
2018-07-25 10:07:323635 本文综述了国际工业生物技术发展格局，分析了我国近期在工业生物技术领域基础研究、应用研究、技术转化与产业发展方面取得的进展和成就，展望了我国工业生物技术发展的趋势与机遇。
2018-10-05 09:17:009571 IDF14突出了技术领域的一些惊人的新趋势，从新的英特尔®实感感应快照到运行64位的Android KitKat，再到使用英特尔®Galileo的物联网和现在可用的英特尔®Edison！
2018-11-07 06:13:002655 光刻技术是包含光刻机、掩模、光刻材料等一系列技术，涉及光、机、电、物理、化学、材料等多个研究方向。目前科学家正在探索更短波长的F2激光（波长为157纳米）光刻技术。由于大量的光吸收，获得用于光刻系统
2019-01-02 16:32:2323712 光刻是集成电路最重要的加工工艺，他的作用，如同金工车间中车床的作用。在整个芯片制造工艺中，几乎每个工艺的实施，都离不开光刻的技术。光刻也是制造芯片的最关键技术，他占芯片制造成本的35%以上。在如今的科技与社会发展中，光刻技术的增长，直接关系到大型计算机的运作等高科技领域。
2019-02-25 10:07:535812 光刻是集成电路最重要的加工工艺，他的作用，如同金工车间中车床的作用。在整个芯片制造工艺中，几乎每个工艺的实施，都离不开光刻的技术。
2019-03-02 09:41:2911136 光刻是集成电路最重要的加工工艺，他的作用，如同金工车间中车床的作用。在整个芯片制造工艺中，几乎每个工艺的实施，都离不开光刻的技术。光刻也是制造芯片的最关键技术，他占芯片制造成本的35%以上。在如今的科技与社会发展中，光刻技术的增长，直接关系到大型计算机的运作等高科技领域。
2019-03-03 10:00:314088 半导体是日常使用的众多创新电子设备的核心。尤其在医疗健康技术领域更是如此，它们结合先进的低功耗（甚或无电源）传感器和联接方案。把这些技术与物联网（IoT）的便利和普及相结合，促成医疗市场领域迅速上升的趋势。
2019-04-11 09:09:222856 光刻机应用广泛，包括IC前道光刻机、用于封装的后道光刻机以及用于LED领域及面板领域的光刻机等等。封装光刻机对于光刻的精度要求低于前道光刻要求，面板光刻机与IC前道光刻机工艺相比技术精度也更低，一般为微米级。
2019-04-28 13:55:52228197 
据报道，华为和非洲联盟日前在亚的斯亚贝巴非盟总部签署了谅解备忘录，双方将加强在宽带、物联网、云计算、5G和人工智能等领域的合作，以促进非盟在信息通信技术领域的发展。
2019-06-03 15:05:243301 这位高管认为人工智能、智慧城市、5G、百亿亿次计算和小额信贷是未来发展的关键领域。他指出，有些中国企业可以说已经是其中某些领域的领导者，但“大多数西方人低估了中国在许多技术领域的先进程度”。
2019-12-05 10:01:134519 光刻是集成电路最重要的加工工艺，他的作用，如同金工车间中车床的作用。在整个芯片制造工艺中，几乎每个工艺的实施，都离不开光刻的技术。光刻也是制造芯片的最关键技术，他占芯片制造成本的35%以上。在如今的科技与社会发展中，光刻技术的增长，直接关系到大型计算机的运作等高科技领域。
2019-12-21 09:58:4020182 相关报告显示，我省在5G技术、高端芯片、操作系统等高端技术领域拥有全球领先技术；数字经济专利数量居全国第二；工业机器人技术领域的专利申请量远远超过其他省份。
2020-04-17 10:36:19492 作为芯片制造的核心设备之一，光刻机对芯片生产的工艺有着决定性影响。 据悉，光刻机按照用途可分为生产芯片的光刻机、封装芯片的光刻机以及用于LED制造领域的投影光刻机。其中，生产芯片的High End
2020-06-15 08:05:54999 芯片是半导体中的积分器，目前芯片的利用率很高，要想在技术领域有所突破，就必须在芯片领域发展。在芯片制造中，最受关注的是光刻机的发展。到目前为止，我国光刻机制造领域还比较缺乏机械。我们的光刻机技术相对
2020-08-02 10:32:3224155 作为光刻工艺中最重要设备之一，光刻机一次次革命性的突破，使大模集成电路制造技术飞速向前发展。了解提高光刻机性能的关键技术以及了解下一代光刻技术的发展情况是十分重要的。 光刻机 光刻机（Mask
2020-08-28 14:39:0411746 
来自中国微米纳米技术学会通知，10月28-30日，一年一度的纳米技术领域最盛大的博览会中国国际纳米技术产业博览会即将隆重召开！ 不管您是来自学术界、企业界还是投资界人士，亦或是来自材料领域、微纳制造
2020-09-16 13:36:462385 最近光刻机十分火，我们经常听到别人说7纳米光刻机、5纳米光刻机，但其实严格意义上来说并不存在7纳米光刻机，5纳米光刻机，我为什么会这样说呢？
2020-10-19 11:42:5120305 小米公司官方微博昨日发文预告 MIDC 2020 小米开发者大会，并称今天已经普及的全面屏是小米最早发明的，在全面屏技术领域小米已经申请了一百多项专利。 小米集团副总裁、集团技术委员会主席崔宝秋博士
2020-11-02 09:55:431348 5nm光刻技术与ASML光刻机有何区别？ EUV光刻机产能如何？ 大飞_6g（听友） 请问谢博士，EUV光刻机的产能是怎样的？比如用最先进的光刻机，满负荷生产手机芯片麒麟990，每天能产多少片？中芯国际有多少台投入生产的光刻机？是1台、5台还是10台呢？谢谢 谢志
2021-03-14 09:46:3023476 嵌入式 RFID（射频识别）读写器技术领域供应商SkyeTek通过在亚洲增加了3家新客户和2家新分销商继续拓展了其亚洲业务
2021-03-24 14:12:511808 经常听到别人说7纳米光刻机、5纳米光刻机，但其实严格意义上来说并不存在7纳米光刻机，5纳米光刻机，我为什么会这样说呢？
2021-03-30 09:19:412681 
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2021-04-26 08:47:5826 在刚刚结束的MWC上海展上，恩智浦携手OPPO，宣布将进一步助力其在VOOC闪充技术领域的技术拓展。作为VOOC闪充技术生态圈的新伙伴，恩智浦将为OPPO提供40W车载无线快充方案，让消费者能够在车
2021-05-18 11:34:312070 光刻机，是现代光学工业之花，是半导体行业中的核心技术。 可能有很多人都无法切身理解光刻机的重要地位，光刻机，是制造芯片的机器，要是没有了光刻机，我们就没有办法造出芯片，自然也就
2021-07-07 14:31:18125772 光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前有用于生产的光刻机，有用于LED制造领域的光刻机，还有用于封装的光刻机。光刻机是采用类似照片冲印的技术，然后把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
2022-02-05 16:03:0085813 “厚膜光刻”工艺是一种通过厚膜金属化技术（简称“厚膜技术”）与光刻技术相结合，达到高精度、低成本、高效率、高灵活性，并已开始成熟商用化的新型微纳量产制造技术。
2022-01-17 16:51:091400 
面面俱到的全景式分析会有千头万绪的纷杂之感。为理清半导体行业的发展脉络，芯八哥选取了最具应用前景、最能产生实用价值和商用价值的十大技术领域，按上榜理由、应用前景、进展情况等多个维度来分别介绍这十大技术领域，帮
2022-01-20 16:17:231706 根据所使用的辐射，有不同类型的光刻方法用于曝光的:光刻(光刻)、电子束光刻、x射线光刻、光刻和离子束光刻。在光学光刻技术中，有部分不透明和部分不透明的图案掩模(光片)半透明区域被使用。紫外线辐射或气体激光的照射以1:1的比例完成或者以4:1或10:1的比例减少。
2022-07-27 16:54:533169 
沉浸式光刻技术是在传统的光刻技术中，其镜头与光刻胶之间的介质是空气，而所谓浸入式技术是将空气介质换成液体。实际上，浸入式技术利用光通过液体介质后光源波长缩短来提高分辨率，其缩短的倍率即为液体介质的折射率。
2022-10-13 16:51:383044 计算光刻 (Computational Lithography)技术是指利用计算机辅助技术来增强光刻工艺中图形转移保真度的一种方法，它是分辦率增强技术(ResolutionEnhancement
2022-10-26 15:46:222274 光刻是半导体工业的核心技术。自1960年Fairchild Semiconductor的罗伯特·诺伊斯发明单片集成电路以来，光刻一直是主要的光刻技术。
2022-11-14 11:36:462288 联网技术领域的“GaN 行动”态度
2022-12-26 10:16:26345 近日，OSCHINA 和 Gitee 联合发布了《2022 中国开源开发者报告》。 其中 “前沿开源技术领域解读” 部分，多位在其领域有所建树的一线开发者和开源商业化公司创始人，对目前国内
2023-02-21 15:19:50786 GTC 大会：NVIDIA cuLitho将加速计算引入计算光刻技术领域的突破性成果 在摩尔定律接近物理极限之际，半导体行业要怎么做？借助AI？ 现在半导体开始采用NVIDIA在计算光刻技术领域
2023-03-22 19:29:3110234 
为2nm及更先进芯片的生产提供更强大的助力。 计算光刻是芯片设计和制造领域中最大的计算工作负载，每年消耗数百亿CPU小时。而NVIDIA cuLitho计算光刻库利用GPU技术实现计算光刻，可以极大的降低功耗、节省时间。 目前台积电、光刻机制造商阿斯麦，以及EDA巨头新思科技都已经导入
2023-03-23 18:55:377489 
智能发电主要涉及什么技术领域 智能变电涉及的技术领域主要包括变电站信息采集技术、智能传感技术、实时监测技术、状态诊断技术、自适应／自优化保护技术、广域保护技术、协调控制技术和站内智能一次设备技术
2023-04-11 18:11:15636 光刻技术简单来讲，就是将掩膜版图形曝光至硅片的过程，是大规模集成电路的基础。目前市场上主流技术是193nm沉浸式光刻技术，CPU所谓30nm工艺或者22nm工艺指的就是采用该技术获得的电路尺寸。
2023-04-25 11:02:322261 
在整个芯片制造过程中，几乎每一道工序的实施都离不开光刻技术。光刻技术也是制造芯片最关键的技术，占芯片制造成本的35%以上。
2023-04-26 08:57:031033 在集成电路制造领域，如果说光刻机是推动制程技术进步的“引擎”，光刻胶就是这部“引擎”的“燃料”。
2023-05-13 11:28:381122 
光学光刻是通过广德照射用投影方法将掩模上的大规模集成电路器件的结构图形画在涂有光刻胶的硅片上，通过光的照射，光刻胶的成分发生化学反应，从而生成电路图。限制成品所能获得的最小尺寸与光刻系统能获得的分辨率直接相关，而减小照射光源的波长是提高分辨率的最有效途径。
2023-10-24 11:43:15271 
电子发烧友网报道（文/李宁远）提及芯片制造技术，首先想到的自然是光刻机和光刻技术。众所周知在芯片行业，光刻是芯片制造过程中最重要、最繁琐、最具挑战也最昂贵的一项工艺步骤。在光刻机的支持下，摩尔定律
2023-07-16 01:50:153009 
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