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超精密双面抛光的加工原理2022-11-01 10:07
超精密两面抛光加工是化学机械抛光的应用(CMP)技术性，借助产品工件、碾磨颗粒物、抛光剂和抛光轮的机械作用，在工件打磨抛光环节中，发生部分持续高温和髙压，使产品与碾磨颗粒物、抛光剂和抛光轮中间最直接的化学物理转变，造成工件表面的化学物理转变。因为机械设备和化学变化的重合，工件表面的生成物逐渐被碾磨，从而使得工件表面光洁。两面喷砂工艺要在单层喷砂工艺的前提下发抛光 3587浏览量