--- 产品参数 ---
- 影像系统 1024×1024
- 光学物镜ZOOM 0.5×,(0.75×,1×可选)
- 干涉物镜 10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
- XY平台 尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同
- Z轴行程 100mm,电动
- Z向扫描范围 10mm
- Z向分辨率 0.1nm
--- 产品详情 ---
中图仪器SuperViewW1微米级白光干涉仪是一种用于精密检测的仪器,采用了高精度扫描模块和内部抗振设计,可实现至高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性,诠释始终如一的测量品质;直观的操作界面,让您对操作流程一目了然,自动聚焦,助您一键实现测量过程;可视化的工作流程树,一键激活的图库管理功能,所见即所得的同步分析功能,更有一键分析功能,批量测量不用愁。
SuperViewW1微米级白光干涉仪不仅可用于硅晶片、光学透镜、窗口片、蓝宝石表镜、手机屏等表面粗糙度检测仪,还可对LED衬底、红外观察窗口、超精密工件、微机电系统等进行超精密检测,在民用领域也有着广泛应用。
产品参数
产品型号:SuperView W1系列
产品名称:光学3D表面轮廓仪
影像系统:1024×1024
光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)
干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈
Z轴行程:100mm,电动
Z向扫描范围:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平调整:±5°手动
粗糙度RMS重复性:0.005nm
台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快效率高
生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司
注释:更多详细SuperViewW1微米级白光干涉仪产品的信息,请联系我们获取
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