--- 产品参数 ---
- 粗糙度RMS重复性 0.005nm
- 台阶高测量 准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
--- 产品详情 ---
SuperViewW系列深圳三维表面轮廓测量仪器采用的是非接触式光学测量,在获得实时数据的同时,不会对产品造成任何损伤,从而有效节约了生产成本,提高了生产效率,并且在线检测,没有滞后性,从而减少不合格品,对表面缺陷检测亦如此。
![3.jpg](https://file.elecfans.com/web2/M00/3F/1D/pYYBAGJmM96ARG1JAAGH-TGqEog208.jpg)
如一张经由VCUT微刻刀加工过的塑料薄片放到显微镜下,看到的是一面布满点状颗粒,另一面则被条状沟槽所填满,构成了塑料片表面的微观世界。
![塑料薄片.png](https://file.elecfans.com/web2/M00/3F/1D/pYYBAGJmM96ACksRAAUnDe9SPhU976.png)
使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对这张塑料片上下表面进行扫描,点颗粒和沟槽轮廓一览无余。
![塑料薄片微观1.jpg](https://file.elecfans.com/web2/M00/3F/17/poYBAGJmM96ASXnOAACJ4MrMUag192.jpg)
点颗粒是凸点,而沟槽则是弧形波,进一步使用仪器的轮廓分析功能对凸点和弧形波进行测量,得到它们的尺寸数据。
![](https://file.elecfans.com/web2/M00/3F/1D/pYYBAGJmM92AQt0oAACBjWuqj4o389.jpg)
![](https://file.elecfans.com/web2/M00/3F/17/poYBAGJmM92AJ55MAACQ1J0sFj4365.jpg)
单个凸点截面直径约42µm、高3.8um、夹角160°,分布周期97µm;单个弧形波高约1.6µm、宽约35µm,周期35µm。
SuperViewW系列深圳三维表面轮廓测量仪器分辨率0.1μm,重复性0.1%,具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点,专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。测量单个精密器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测。并且其特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。
SuperView W系列深圳三维表面轮廓测量仪器产品参数
产品型号:SuperView W系列
产品名称:光学3D表面轮廓仪
影像系统:1024×1024
光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)
干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈
Z轴行程:100mm,电动
Z向扫描范围:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平调整:±5°手动
粗糙度RMS重复性:0.005nm
台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高
生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司
注释:更多详细产品信息,请联系我们获取
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