真空干燥
氟利昂和三氯乙烷等有机氯氟烃溶剂不再可用于蒸汽清洗工艺，因为它们会对臭氧层造成危害。现在，脱脂通常使用更环保的碳氢化合物或水基溶剂进行，清洗后使用多级罗茨式真空泵来干燥零件。
真空蒸馏
真空蒸馏可在低温下将混合物质分离成各个成分。干式罗茨真空泵广泛应用于食品、药品、维生素等的生产设备。
真空包装
无油干式罗茨真空泵在蔬菜、肉类等新鲜食品的真空包装过程中非常受欢迎。干式罗茨真空泵还用于真空包装精密部件、抗氧化部件等物品。
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