中图仪器CEM3000系列台式材料分析扫描电镜用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析，在工业领域展现出广泛的应用价值。
产品功能
1）台式电镜紧凑的外型，CEM3000系列台式扫描电镜能够不受场地尺寸制约，真正做到了空间适用性，用户甚至可以将其就近摆放在自己的桌面上。同时CEM3000也能根据用户需求，轻松移机，一台机器多处开花；
2）高分辨率，能够对微尺寸特征进行观测分析，满足用户的观测需求；
3）快速抽放气，凭借真空系统设计，该系列台式电镜缩短了用户抽放气的等待时间；
4）高易用性，能够快速成像、一键出片，用户使用自动调节功能，无需过多人工操作，就可得到高质量拍摄图片；
5）大样品仓，CEM3000A在保证较小外型尺寸同时，具有比肩立式电镜的大仓室，从而容纳更大尺寸样品；
6）高抗振防磁性能，全系列电镜均具有优秀的抗干扰能力，特别是CEM3000B使用本公司技术，基于复合抗振手段，将扫描电镜抗振性能提升到了新的高度；
7）可选配低真空模式，保证用户能够根据需要设定电镜样品仓内真空度，进而对不同类型的样品进行观测；
8）能够提供多种成像参数供用户选择，满足专业用户的调节需求；
9）搭配有多种探头，能够对样品进行多种手段的分析。
应用领域
该电镜外型紧凑，空间适用性强，整机采用大量的抗干扰设计，避免使用环境造成的影响，拓宽了应用范围。同时，该系列台式电镜具有非常丰富的自动调节功能，能够对不同类型的样品进行观测，具有高空间分辨率。
用户可在CEM3000系列台式材料分析扫描电镜上搭配不同的探头，同时接收多种信号，对样品进行分析。
应用范例：
CEM3000系列台式材料分析扫描电镜标配有高性能二次电子探头和多象限背散射探头、并可选配能谱仪、低真空系统，能满足用户对多类型样品的观测需求。
不同于立式电镜，CEM3000系列台式扫描电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统，这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上，在用户手边实时呈现所得结果。此外CEM3000系列空间分辨率出色和易用性强，用户能够非常快捷地进行各项操作。甚至在自动程序的帮助下，无需过多人工调节，便可一键得到理想的拍摄图片。
性能特色
1.高易用性快速成像、一键成片，无需过多人工调节。
2.超高分辨率优于4nm(SE)，优于8nm(BSE)@20kV。
3.超大景深毫米级别景深，具有高空间分辨率。
4.多探测器可实现四分窗同时扫描成像。
5.抗振性能优异。
部分技术指标
型号 | CEM3000A（大样品仓型） | |
电子枪 | 灯丝 | 钨灯丝 |
分辨率 | 优于4nm(SE)，优于8nm(BSE) @20kV | |
加速电压 | 1 ~ 20kV | |
放大倍数 | 电子图：40 ~ 200,000×（可选配大图拼接） | |
探测器 | 二次电子 | 标配 |
背散射电子 | 标配（四象限高分辨探头） | |
能谱仪 | 选配 | |
自动化软件 | 标配：自动合轴、自动聚焦、自动消像散、一键图像增强 | |
选配：颗粒度统计、孔隙率测量、纤维测量、三维粗糙度重建 | ||
真空系统 | 真空度 | 高真空：优于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（选配） |
抽真空时间 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
样品台 | 自动轴 | X，Y，T |
手动轴 | R，Z | |
行程范围 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°（手动旋转、电子束旋转） | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
样品尺寸 | 70mm×70mm（水平） 45mm（高度） | |
仓内相机 | 导航相机 | 标配高分辨彩色相机 |
侧视相机 | 标配高分辨红外相机 | |
操作系统 图片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 | ||
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