SJ6000机床激光干涉测量校准仪具有高测量精度和重复性，可以实现非接触式测量方式，不会对被测量物体造成损伤。它结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。
在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
产品配置
SJ6000机床激光干涉测量校准仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。
主要镜组图
其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。
线性测量应用
SJ6000激光干涉仪广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。
动态测量应用
1、基于时间的动态测量
机器运动控制性能评价：
（1）运动控制器PID控制参数测试与设置
（2）高速运动后机器的稳定性测试与评价
（3）高性能运动控制器的微小步幅的测试
振动监视
（1）扫描应用：用于定位精度不重要，但恒速对实现高质量成像非常关键的场合
（2）机床应用：典型应用包括要求刀具慢速、平稳轮廓运动的高质量表面精加工
振动频率分析
（1）被测对象的振动频率分析
（2）FFT快速傅立叶变换分析
2、基于距离的动态测量
基于距离的动态测量，SJ6000激光干涉仪系统将沿着轴线“飞行"测量，即运动轴在不停顿的情况下以用户定的间隔进行数据采集。
3、提供脉冲触发方式采集
CT70正交触发盒可监控光栅、编码器、控制器等信号，配合SJ6000激光干涉仪，可实现脉冲触发启动采集和连续脉冲触发采集。适用于运动轴在不停顿的情况下，触发激光干涉仪按照定的间隔位置进行数据采集。
产品功能
（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；
（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
（6）支持手动或自动进行环境补偿。
SJ6000机床激光干涉测量校准仪非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。
部分技术指标
主机
稳频精度：0.05ppm
动态采集频率：50 kHz
预热时间：≤ 6分钟
工作温度范围：(0~40)℃
存储温度范围：(-20~70)℃
环境湿度：(0~95)%RH
环境补偿单元
空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃
空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH
大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa
线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)
角度测量范围：±10°
平面度测量范围：±1.5mm
直线度测量范围：±3mm
垂直度测量范围：±3/M mm/m
便携箱尺寸：613*460*230mm
标准配置重量：18kg
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