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--- 产品详情 ---
中图仪器SEM扫描电镜品牌采用钨灯丝电子枪,制作工艺相对简单,材料成本也较低,使得钨灯丝电子枪的整体成本不高,从而降低了台式扫描电镜的设备采购成本。
钨灯丝电子枪可以在相对较低的真空度下工作,通常只需要两级真空泵系统获得 0.001Pa 左右的真空度即可满足要求,而不需要像场发射电子枪那样的超高真空环境,这不仅降低了真空系统的复杂度和成本,还缩短了抽真空的时间,提高了工作效率。

中图仪器CEM3000系列SEM扫描电镜品牌空间分辨率出色和易用性强,用户能够非常快捷地进行各项操作。甚至在自动程序的帮助下,无需过多人工调节,便可一键得到理想的拍摄图片。还运用了快速抽放气设计,让用户在使用时不再等待,且全系列可选配低真空系统,以便精准调节样品仓内真空度,满足不同样品的观测需求。
产品功能
1.高分辨率,满足用户观测需求;
2.快速抽放气,缩短等待时间;
3.高易用性
可快速成像,一键成片;
4.多种成像参数
满足专业用户的调节需求;
5.高抗振防磁性能
强抗干扰能力;
6.可选配低真空模式,保证用户能够根据需要设定电镜样品仓内真空度,进而对不同类型的样品进行观测。
7.大样品仓
SEM3000A在保证较小外形尺寸同时,具有比肩立式电镜的大仓室,从而容纳更大尺寸样品;
8.多探测器
可实现四分窗同时扫描成像。
核心优势
1、紧凑灵活,突破空间限制
(1)台式设计,体积小巧,轻松摆放在桌面或狭小空间(如手套箱、移动实验室),节省实验室空间。
(2)支持快速移机,一台设备满足多场景需求,助力科研效率提升。
2、高性能,纳米级分辨率
(1)空间分辨率优于4nm(SE),支持高达200,000倍放大,精准捕捉纳米材料、微流控芯片等样品的微观形貌。
(2)高衬度成像系统,快速扫描也能清晰呈现微弱信号,满足材料科学、生命科学等领域的需求。
3、抗振防磁,稳定无惧挑战
(1)特殊隔振设计(CEM3000B搭载复合抗振系统),消除环境振动与电磁干扰,保障高倍成像质量。
(2)适用于工业车间、车载实验室等复杂环境,稳定可靠。
4、高效便捷,一键智能操作
(1)快速抽放气技术:低真空模式仅需40秒(CEM3000B),高真空模式最快1.5分钟,大幅缩短等待时间。
(2)自动对焦、消像散、图像增强功能,一键生成高质量图片,降低操作门槛。
5、灵活拓展,满足多样需求
(1)可选配低真空系统(5~100Pa),兼容导电/非导电样品观测。
(2)中图仪器SEM扫描电镜品牌支持二次电子、背散射电子探头及能谱仪,搭配颗粒统计、孔隙率测量等定制功能,满足多领域分析需求。
应用场景
材料科学:纳米材料(如60nm银线)、高熵合金粉末、氧化锌等微观结构分析。
新能源:太阳能电池板缺陷检测、涂层性能评估。
生物医疗:微流控芯片表面形貌观测、药物载体研究。
工业质检:锡球颗粒焊接质量、精密器件表面粗糙度检测。

机型选择
CEM3000A(大样品仓型):70mm×70mm样品仓,兼容大尺寸或多样品批量分析。
CEM3000B(抗振型):专为振动环境设计,抽气更快(低真空仅40秒),成像更稳定。

部分技术指标
型号 | CEM3000A(大样品仓型) | |
电子枪 | 灯丝 | 钨灯丝 |
分辨率 | 优于4nm(SE),优于8nm(BSE) @20kV | |
加速电压 | 1 ~ 20kV | |
放大倍数 | 电子图:40 ~ 200,000×(可选配大图拼接) | |
探测器 | 二次电子 | 标配 |
背散射电子 | 标配(四象限高分辨探头) | |
能谱仪 | 选配 | |
自动化软件 | 标配:自动合轴、自动聚焦、自动消像散、一键图像增强 | |
选配:颗粒度统计、孔隙率测量、纤维测量、三维粗糙度重建 | ||
真空系统 | 真空度 | 高真空:优于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(选配) |
抽真空时间 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
样品台 | 自动轴 | X,Y,T |
手动轴 | R,Z | |
行程范围 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手动旋转、电子束旋转) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
样品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
仓内相机 | 导航相机 | 标配高分辨彩色相机 |
侧视相机 | 标配高分辨红外相机 | |
操作系统 图片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。
如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
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