上海伯东剥离成形电子束蒸镀设备 Lift-Off

镀膜机

型号： Lift-Off

--- 产品参数 ---

产地中国台湾

--- 产品详情 ---

因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准
剥离成形电子束蒸镀设备 Lift-Off E-beam Evaporation System
对于有些金属, 我们很难使用蚀刻 Etching 方式来完成想要的电路图案 Circuit Pattern时, 就可以采用 Lift-Off 制程来做出想要的金属图案. 在此过程中, 电子束蒸发于在基板表面上沉积所需的薄膜层于牺牲层与基材上, 最终在洗去牺牲层, 以得到其电路图案.

上海伯东代理剥离成形电子束设备可以精准的控制蒸发速度, 因此薄膜厚度和均匀度皆小于 ±3％, 客制化的基板尺寸, 最大直径可达 12寸晶圆, 腔体的极限真空度约为 10-8 Torr.

针对 Lift-Off 制程设计载台水冷或液态氮冷却

Lift-Off 制程步骤:

上海伯东剥离成形电子束设备配置和优点
客制化的基板尺寸, 最大直径可达 12寸晶圆
薄膜均匀度小于±3％
水冷坩埚的多组坩锅旋转电子束源 (1/2/4/6坩埚)
自动镀膜系统
具有顺序操作或共沉积的多个电子束源
基板具有冷却 (液态氮温度低至-70°C)功能

腔体
客制化的腔体尺寸取决于基板尺寸和其应用
腔体最高可至 650 mm
腔体的极限真空度约为 10-8 Torr

选件
可以与传送腔, 机械手臂和手套箱整合在一起

应用领域
Lift-Off 制程

对传统热蒸发技术难以实现的材料蒸发, 可采用电子束蒸发的方式来实现. 不同于传统的辐射加热和电阻丝加热, 高能电子束轰击可实现超过 3000℃ 的局域高温, 这使得绝大部分常用材料都可以被蒸发出来, 甚至是高熔点的材料, 例如, Pt, W, Mo, Ta 以及一些氧化物, 陶瓷材料等. 上海伯东代理的电子束蒸发源可承载 1-6种不同的材料, 实现多层膜工艺; 蒸发源本身防污染设计, 使得不同材料之间的交叉污染降到最低.

若您需要进一步的了解电子束蒸镀设备详细信息或讨论, 请联络上海伯东叶女士分机 107

现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东叶女士
上海伯东版权所有, 翻拷必究！

为你推荐

产品文章方案

inTEST 芯片高低温冲击热流仪2024-10-18 13:59

产品型号：ATS-535 产地：美国温度范围：-60 至+ 225°C 特点：集成空压机
inTEST BT28 桌面型高低温冲击热流仪2024-09-12 13:56

产品型号：inTEST BT28 温度范围：-28° 至 +225°C 温度显示和分辨率：+/- 0.1°C
离子束刻蚀机 20 IBE-J2024-09-12 13:51

产品型号：20 IBE-J 特点：干法物理纳米级刻蚀射频角度：可以任意调整
inTEST Sigma M256 高低温试验箱2023-12-01 10:58

产品型号：Sigma M256 产地：美国腔室体积：255 L
inTEST Sigma M170 高低温试验箱2023-12-01 10:55

产品型号：Sigma M170 产地：美国温度范围：-185°C 至 400°C 腔室体积：165 L
inTEST Sigma M58 高低温试验箱2023-12-01 10:19

产品型号：Sigma M58 产地：美国宽温度范围：-185 °C 至 500°C 腔室体积：59 L
inTEST Sigma M10 高低温试验箱2023-12-01 10:06

产品型号：Sigma M10 产地：美国宽温度范围：-185°C 至 500°C 腔室体积：10 L
inTEST Sigma 高低温试验箱, 温度环境试验箱2023-12-01 09:39

产品型号：Sigma 品牌：inTEST 产地：美国温度范围：-185°至 +500°C
普发分流式分子泵 SplitFlow2023-07-11 10:13

产品型号：SplitFlow 产地：德国
普发分子泵 HiPace 80 Neo2023-07-11 10:09

产品型号：HiPace 80 Neo 产地：德国

Gel-Pak VRP 可变黏度防静电真空释放盒2024-10-18 14:19

上海伯东美国 Gel-Pak VRP 真空释放盒相对于传统的真空释放 Vacuum Release 芯片盒, 有着优异的防静电性能, 但在使用中发现, VRP 的最低黏度 EH02 （对标 VR 的 XL 黏度）在一些特定的应用中存在黏度偏高的问题, Gel-Pak 针对这个问题提出了 VRP 防静电真空释放盒可变黏度的解决方法, 满足高宽深比器件, 微机电

VRP 芯片防静电
105浏览量
氦质谱检漏仪 ASM 340W 锂电池盖帽(盖板)检漏系统2024-09-13 10:53

上海伯东氦质谱检漏仪 ASM 340W 适用于动力电池行业和汽车行业的检漏系统, 提供锂电池盖帽(盖板)检漏, 汽车压缩机真空检漏解决方案.

动力电池检漏仪锂电池
225浏览量
KRi 霍尔离子源 EH 2000 望远镜镜片光学镀膜应用2024-09-13 10:38

上海伯东美国 KRi 大尺寸霍尔离子源 EH 2000 安装于高性能电子束光学镀膜机, 实现 300 mm 望远镜镜片镀膜.

光学镜片望远镜电子束
190浏览量
美国 inTEST 高低温冲击热流仪助力半导体芯片研发2024-09-13 10:19

上海伯东代理美国 inTEST 高低温冲击热流仪兼容各品牌半导体测试机, 可正确评估与参数标定芯片开发, 器件或模块研发, 品质检查, 第三方认证, 失效分析, FAE 等几乎所有流程, 高低温冲击测试作为一种常见的测试手段, 适用于 IGBT, MOSFET, 三极管, 二极管等各类半导体特性测试.

半导体芯片高低温测试高低温测试机
358浏览量
离子束刻蚀机物理量传感器 MEMS 刻蚀应用2024-09-12 13:31

口离子束刻蚀机 IBE 可以很好的解决传感器 MEMS 的刻蚀难题, 射频角度可以任意调整, 蚀刻可以根据需要做垂直, 斜面等等加工形状, 刻蚀那些很难刻蚀的硬质或惰性材料.

mems 传感器离子束
302浏览量
氦质谱检漏仪应用于半导体新材料和设备管道检漏2023-11-09 15:31

上海伯东提供半导体新材料和设备管道检漏解决方案, 助力企业生产高质量的六氯乙硅烷 Si₂Cl₆. 六氯乙硅烷广泛应用于有机硅化合物的合成, 电子半导体材料制造.

半导体新材料设备
326浏览量
氦质谱检漏仪应用于真空镀膜生产线2023-08-07 14:35

Si3 N4 氮化硅镀膜系统. 在某次维护之后, 抽真空时只能达到 80 mbar 的压力. 为了在如此高的工作压力之下依然能够进行检漏, 推荐选用上海伯东氦质谱检漏仪 ASM 340. ASM 340 检漏仪特有的定性大漏检测模式 ( 在 100 hPa 即可进行大漏测试 ) , 借助此模式即可定位存在的漏点.

检漏仪模式系统
680浏览量
Gel-Pak VR真空释放盒应用于50V GaN HEMT 芯片2023-08-07 14:28

50V GaN HMET 芯片采用上海伯东美国 Gel-Pak VR 真空释放盒进行包装, Gel-Pak 采用了无残胶的膜技术, 可以将芯片牢固地固定住, 避免在运输和储存过程中因为碰撞等造成芯片的损害.

GaN SiC 芯片
589浏览量
inTEST热流仪逻辑芯片 FPGA高低温冲击测试2023-08-07 14:21

FPGA 芯片需要按照 JED22-A104 标准做温度循环 TC 测试, 让其经受极端高温和低温之间的快速转换. 一般在 -55℃~150℃ 进行测试, 传统的环境箱因为升降温速度受限, 无法满足研发的快速循环测试需求. 上海伯东美国 inTEST 热流仪 ATS-710E 变温速率约 10 s, 实现 FPGA 芯片极端高温和低温之间的快速转换测

FPGA 测试芯片高低温测试机
856浏览量
上海伯东分子泵应用于 LED 芯片退火合金炉2023-08-07 14:14

LED 芯片退火合金炉属于真空炉的一种, 需要在真空环境下实现 LED 芯片的退火, 合金, 湿氧氧化, 欧姆电极烧结等工艺. 腔体真空度一般在 10-3 至 10-6 hPa 之间, 上海伯东德国 Pfeiffer 分子泵凭借大抽速,高稳定性广泛应用于退火合金炉设备.

led 真空泵芯片
634浏览量

Aston Impact 高灵敏度质谱分析仪 CVD 清洗终点优化2024-10-18 13:42

上海伯东日本 Atonarp Aston Impact 高灵敏度质谱分析仪, 基于四级杆的质量分离, Aston 质谱分析仪设计紧凑, 适用于气体分析和过程气体监测, 满足半导体工艺过程中, 沉积, 刻蚀, 光刻等气体分析.

CVD 分析仪半导体质谱分析
42浏览量
Aston 质谱仪等离子体刻蚀过程及终点监测2024-10-18 13:33

刻蚀是半导体制造中最常用的工艺之一, 上海伯东日本 Atonarp Aston 质谱仪适用于等离子体刻蚀过程及终点监测 (干法刻蚀终点检测), 通过持续监控腔室工艺化学气体, 确保半导体晶圆生产的高产量和最大吞吐量.

分析仪半导体监测质谱分析
51浏览量
Aston 质谱分析仪搭配 Scrubber 半导体尾气处理设备进行气体检测2024-10-18 13:24

半导体工艺一般会产生各种工艺气体和颗粒材料副产品, 有害气体需要以受控方式进行处理. 上海伯东日本 Atonarp Aston 质谱分析仪与 Scrubber 半导体尾气处理设备联用, 对处理完的气体在线监测分析, 并对分析数据进行监控和记录, 使其符合环境法规.

分析仪半导体气体检测
43浏览量
铌酸锂 LiNbO3 薄膜 IBE 离子束刻蚀2024-09-13 10:59

随着基于铌酸锂 LN 的光源, 光调制, 光探测等重要器件的实现, 铌酸锂 LN 光子集成芯片有望像硅基集成电路一样, 成为高速率, 高容量, 低能耗光学信息处理的重要平台, LiNbO3 薄膜刻蚀成特定的图形才能用于芯片, 因 LiNbO3 惰性特性, 使用 ICP 或 RIE 工艺无法完成刻蚀, 上海伯东 IBE 离子束刻蚀机为铌酸锂 LiNbO3 薄膜刻蚀提供解决方案

刻蚀机离子束
147浏览量
美国 Gel-Pak 应用于 VCSEL 芯片生产2024-09-13 10:28

上海伯东美国 Gel-Pak 提供 VCSEL 芯片生产使用的 DGL 胶膜和真空释放托盘

VCSEL 芯片
132浏览量
美国进口 KRi 考夫曼离子源 KDC 160 硅片刻蚀清洁案例2024-09-13 10:10

上海伯东美国 KRi 大尺寸考夫曼离子源 KDC 160 适用于 2-4英寸的硅片刻蚀和清洁应用, KRi KDC 160 是直流栅网离子源, 高输出离子束电流超过 1000mA. 高功率光束无需对离子源进行水冷却即可实现. KDC 160 配备了双灯丝. 在标准配置下, KDC 160 典型离子能量范围为 100 至 1200eV, 离子电流可超过 800mA.

电流硅片离子束
111浏览量
inTEST 热流仪车载显示器高低温光学测量应用2024-09-12 14:17

通过美国 inTEST ATS-545 热流仪给车载显示器升温或降温, 测量其在不同温度下任意点的光学特性, 实现高低温环境 -40 至 100℃ 下产品的亮度, 色度, 响应时间和可视角度测试.

显示器高低温测试机
112浏览量
HiCube 80 Eco 分子泵组搭配低温阻抗测试仪应用2023-12-08 14:29

上海伯东代理德国 Pfeiffer 涡轮分子泵组 HiCube 80 Eco 成功应用于低温阻抗测试系统, 分析电子元器件在低温环境下电阻的变化.

测试仪电子元器件
257浏览量
SF6 密度继电器氦质谱检漏法2023-12-08 14:21

应用于各类电厂, 变电站, 电气化铁道等行业的 SF6 六氟化硫密度继电器, 通过监测密封容器中的 SF6 气体的密度, 诊断出电气设备中 SF6 气体的泄漏, 防止因为 SF6 气体密度的下降而导致其电气绝缘能力的下降. 严重时会发生闪络击穿, 威胁人身设备安全.

仪表密度继电器继电器
358浏览量
新能源汽车 IGBT 功率器件高低温冲击测试2023-12-01 15:48

车用 IGBT 模块对产品性能和质量的要求要明显高于消费和工控领域, 需要通过严格的车规认证, 汽车 IGBT 模块测试标准主要参照 AEC-Q101 和 AQG-324, 其中温度冲击, 功率循环, 温度循环, 结温等是其中重要的测试要求, 功率循环和温度循环作为代表的耐久测试, 测试循环次数可能从几万次到十万次不等.

IGBT 新能源汽车测试
439浏览量

伯东企业（上海）有限公司

上海伯东剥离成形电子束蒸镀设备 Lift-Off

--- 产品参数 ---

--- 产品详情 ---

为你推荐

inTEST 芯片高低温冲击热流仪2024-10-18 13:59

inTEST BT28 桌面型高低温冲击热流仪2024-09-12 13:56

离子束刻蚀机 20 IBE-J2024-09-12 13:51

inTEST Sigma M256 高低温试验箱2023-12-01 10:58

inTEST Sigma M170 高低温试验箱2023-12-01 10:55

inTEST Sigma M58 高低温试验箱2023-12-01 10:19

inTEST Sigma M10 高低温试验箱2023-12-01 10:06

inTEST Sigma 高低温试验箱, 温度环境试验箱2023-12-01 09:39

普发分流式分子泵 SplitFlow2023-07-11 10:13

普发分子泵 HiPace 80 Neo2023-07-11 10:09

Gel-Pak VRP 可变黏度防静电真空释放盒2024-10-18 14:19

氦质谱检漏仪 ASM 340W 锂电池盖帽(盖板)检漏系统2024-09-13 10:53

KRi 霍尔离子源 EH 2000 望远镜镜片光学镀膜应用2024-09-13 10:38

美国 inTEST 高低温冲击热流仪助力半导体芯片研发2024-09-13 10:19

离子束刻蚀机物理量传感器 MEMS 刻蚀应用2024-09-12 13:31

氦质谱检漏仪应用于半导体新材料和设备管道检漏2023-11-09 15:31

氦质谱检漏仪应用于真空镀膜生产线2023-08-07 14:35

Gel-Pak VR真空释放盒应用于50V GaN HEMT 芯片2023-08-07 14:28

inTEST热流仪逻辑芯片 FPGA高低温冲击测试2023-08-07 14:21

上海伯东分子泵应用于 LED 芯片退火合金炉2023-08-07 14:14

Aston Impact 高灵敏度质谱分析仪 CVD 清洗终点优化2024-10-18 13:42

Aston 质谱仪等离子体刻蚀过程及终点监测2024-10-18 13:33

Aston 质谱分析仪搭配 Scrubber 半导体尾气处理设备进行气体检测2024-10-18 13:24

铌酸锂 LiNbO3 薄膜 IBE 离子束刻蚀2024-09-13 10:59

美国 Gel-Pak 应用于 VCSEL 芯片生产2024-09-13 10:28

美国进口 KRi 考夫曼离子源 KDC 160 硅片刻蚀清洁案例2024-09-13 10:10

inTEST 热流仪车载显示器高低温光学测量应用2024-09-12 14:17

HiCube 80 Eco 分子泵组搭配低温阻抗测试仪应用2023-12-08 14:29

SF6 密度继电器氦质谱检漏法2023-12-08 14:21

新能源汽车 IGBT 功率器件高低温冲击测试2023-12-01 15:48