伯东企业（上海）有限公司方案

• Aston Impact 高灵敏度质谱分析仪 CVD 清洗终点优化2024-10-18 13:42

  

  上海伯东日本 Atonarp Aston Impact 高灵敏度质谱分析仪, 基于四级杆的质量分离, Aston 质谱分析仪设计紧凑, 适用于气体分析和过程气体监测, 满足半导体工艺过程中, 沉积, 刻蚀, 光刻等气体分析.

  CVD 分析仪 半导体 质谱分析 40浏览量

• Aston 质谱仪等离子体刻蚀过程及终点监测2024-10-18 13:33

  

  刻蚀是半导体制造中最常用的工艺之一, 上海伯东日本 Atonarp Aston 质谱仪适用于等离子体刻蚀过程及终点监测 (干法刻蚀终点检测), 通过持续监控腔室工艺化学气体, 确保半导体晶圆生产的高产量和最大吞吐量.

  分析仪 半导体 监测 质谱分析 48浏览量

• Aston 质谱分析仪搭配 Scrubber 半导体尾气处理设备进行气体检测2024-10-18 13:24

  

  半导体工艺一般会产生各种工艺气体和颗粒材料副产品, 有害气体需要以受控方式进行处理. 上海伯东日本 Atonarp Aston 质谱分析仪与 Scrubber 半导体尾气处理设备联用, 对处理完的气体在线监测分析, 并对分析数据进行监控和记录, 使其符合环境法规.

  分析仪 半导体 气体检测 42浏览量

• 铌酸锂 LiNbO3 薄膜 IBE 离子束刻蚀2024-09-13 10:59

  

  随着基于铌酸锂 LN 的光源, 光调制, 光探测等重要器件的实现, 铌酸锂 LN 光子集成芯片有望像硅基集成电路一样, 成为高速率, 高容量, 低能耗光学信息处理的重要平台, LiNbO3 薄膜刻蚀成特定的图形才能用于芯片, 因 LiNbO3 惰性特性, 使用 ICP 或 RIE 工艺无法完成刻蚀, 上海伯东 IBE 离子束刻蚀机为铌酸锂 LiNbO3 薄膜刻蚀提供解决方案

  刻蚀机 离子束 137浏览量

• 美国 Gel-Pak 应用于 VCSEL 芯片生产2024-09-13 10:28

  

  上海伯东美国 Gel-Pak 提供 VCSEL 芯片生产使用的 DGL 胶膜和真空释放托盘

  VCSEL 芯片 127浏览量

• 美国进口 KRi 考夫曼离子源 KDC 160 硅片刻蚀清洁案例2024-09-13 10:10

  

  上海伯东美国 KRi 大尺寸考夫曼离子源 KDC 160 适用于 2-4英寸的硅片刻蚀和清洁应用, KRi KDC 160 是直流栅网离子源, 高输出离子束电流超过 1000mA. 高功率光束无需对离子源进行水冷却即可实现. KDC 160 配备了双灯丝. 在标准配置下, KDC 160 典型离子能量范围为 100 至 1200eV, 离子电流可超过 800mA.

  电流 硅片 离子束 109浏览量

• inTEST 热流仪车载显示器高低温光学测量应用2024-09-12 14:17

  

  通过美国 inTEST ATS-545 热流仪给车载显示器升温或降温, 测量其在不同温度下任意点的光学特性, 实现高低温环境 -40 至 100℃ 下产品的亮度, 色度, 响应时间和可视角度测试.

  显示器 高低温测试机 105浏览量

• HiCube 80 Eco 分子泵组搭配低温阻抗测试仪应用2023-12-08 14:29

  

  上海伯东代理德国 Pfeiffer 涡轮分子泵组 HiCube 80 Eco 成功应用于低温阻抗测试系统, 分析电子元器件在低温环境下电阻的变化.

  测试仪 电子元器件 255浏览量

• SF6 密度继电器氦质谱检漏法2023-12-08 14:21

  

  应用于各类电厂, 变电站, 电气化铁道等行业的 SF6 六氟化硫密度继电器, 通过监测密封容器中的 SF6 气体的密度, 诊断出电气设备中 SF6 气体的泄漏, 防止因为 SF6 气体密度的下降而导致其电气绝缘能力的下降. 严重时会发生闪络击穿, 威胁人身设备安全.

  仪表 密度继电器 继电器 352浏览量

• 新能源汽车 IGBT 功率器件高低温冲击测试2023-12-01 15:48

  

  车用 IGBT 模块对产品性能和质量的要求要明显高于消费和工控领域, 需要通过严格的车规认证, 汽车 IGBT 模块测试标准主要参照 AEC-Q101 和 AQG-324, 其中温度冲击, 功率循环, 温度循环, 结温等是其中重要的测试要求, 功率循环和温度循环作为代表的耐久测试, 测试循环次数可能从几万次到十万次不等.

  IGBT 新能源汽车 测试 437浏览量