企业号介绍

全部
  • 全部
  • 产品
  • 方案
  • 文章
  • 资料
  • 企业

苏州清芯卓半导体设备有限公司

苏州清芯卓半导体设备有限公司，致力于半导体集成电路、中高端湿法腐蚀、清洗设备、CDS集中供液系统、通风柜/厨等一站式的解决方案的技术企业.

17 内容数 2.2k 浏览量 1 粉丝

清芯卓甩干机

型号： qxzSG

--- 产品参数 ---

  • 晶片规格 2-8〞wafer

--- 产品详情 ---

晶片规格： 2-8〞wafer  RPM： 500-2600r/min  基础工艺流程: 上料→DI喷淋+旋转→N2（hot）+旋转→加速旋转（温控）→下料  腔体数量： 单腔/双腔/四腔  设备类型： 半自动   Footprint : 480 (W) x 800(D) x 1800(H) mm 

为你推荐

产品

  • 清芯卓IPA干燥机2022-12-15 13:45

    产品型号：qxzIPA IPA消耗量：50ml/r

  • 清芯卓甩干机2022-12-15 13:42

    产品型号：qxzSG 晶片规格：2-8〞wafer

  • 清芯卓花篮清洗机2022-12-15 13:36

    产品型号：qxzHL 范围：千级洁净室要求 片盒规格：2-12〞晶圆花篮

  • 清芯卓片盒清洗机2022-12-15 13:33

    产品型号：qxzPH 槽体功能：加热+超声 范围：千级洁净室要求

  • 清芯卓PP通风柜2022-12-15 13:29

    产品型号：qxzTFC 使用范围：半导体实验室 化学品实验室 生物实验室

  • 清芯卓Slug腐蚀机2022-12-15 13:22

    产品型号：qxzSlug 工艺槽功能：循环过滤+加热冷却 基础工艺流程：MAE酸槽→QDR→MAE酸槽→QDR→C5酸槽→QDR

  • 清芯卓薄片清洗机2022-12-15 13:15

    产品型号：qxzBP 工艺槽功能：循环过滤 基础工艺流程：腐蚀槽→冲水槽→微刻槽→冲水槽

  • 清芯卓外延最终清洗机2022-12-15 13:13

    产品型号：qxzWY 工艺槽功能：循环过滤+加热冷却+供液 基础工艺流程：药液槽→QDR→-------QDR→IPA（可增减）

  • 清芯卓光阻Cup清洗机2022-12-15 13:09

    产品型号：qxzGZCUP 工艺槽功能：循环过滤+加热 基础工艺流程：药液槽→丙酮→IPA→QDR

  • 清芯卓显影清洗机2022-12-15 13:06

    产品型号：qxzXY 工艺槽功能：循环过滤+加热冷却+晶片滚动 基础工艺流程：显影槽→QDR 显影槽→QDR