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上海屹持光电技术有限公司

红外观察仪、飞秒激光器、太赫兹相机、太赫兹光谱仪  

216 内容数 4w 浏览量 7 粉丝

太赫兹分辨率板

型号: P-TTT-2-1200

--- 产品详情 ---

太赫兹分辨率板P-TTT-2-1200是专门为表征太赫兹成像系统而开发的。它具有2 μm到8 mm横向尺寸的结构和区域,适用于标准衍射限制系统以及亚波长分辨率的近场成像系统。

分辨率板的衬底基于高阻硅,包含三种不同传输强度的导体区域,以及传输强度最大的非涂层衬底区域。典型结构包括三条纹结构正交对、西门子星型和同心圆等经典分辨率测试结构。这些典型的结构伴随着进一步的结构,特别是用于近场成像的目的,如产生局部场约束的超材料结构。此外,还列出了对薄板电阻成像和晶圆扫描应用有帮助的参考领域。

技术参数:

P-TTT-2-1200

衬底材料

High-resistivity FZ silicon, 2-side polished

衬底电阻率

> 10 kOhm cm

目标总尺寸2" x 2" (50 mm x 50 mm)

衬底厚度

525 µm

镀膜材料

Cr, Au

镀膜厚度

Cr: 10 nm, 50 nm and 60 nm (in semi-transparent areas)

Au: 50 nm (opaque)

三条纹正交对结构

2 – 1200 µm wide lines & spaces

45° rotated for 2 - 460 µm wide line & spaces

西门子星型

6 mm outer diameter, 18 elements

倒牛顿环

5.6 mm outer diameter

Ring widths from 10 – 500 µm in increasing steps

连续Rsh参考区域

Four areas, each 6.7 mm x 8.3 mm

倾斜的金属光栅区域

Six areas, each 2 mm x 6.7 mm

Tilting angles: 0°, 18°, 36°, 54°, 72°, 90°

蝴蝶结型阵列超材料

300 µm length, 5µm gap

非对称双狭缝阵列超材料

3 µm and 6 µm slit width and spaces

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