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残余气体分析仪 Hicube RGA
上海伯东销售维修德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA. 四极杆质谱 PrismaPro 与 HiCube 涡轮分子泵组的搭配, 质量数范围 1-300, 高分辨率和灵敏度. 适用于残余气体分析, 过程监测, 泄漏检测.
残余气体分析仪 Hicube RGA 优势
残余气体分析和氦气泄漏检测模式
可用于从大气压至高真空环境
高分辨率和灵敏度
通过真空压力监测保护灯丝
进气系统带集成式切断阀
Pfeiffer 残余气体分析仪 Hicube RGA 技术规格
涡轮分子泵组 | HiCube™ Eco |
功耗 | 170W |
电压（范围） | 110 - 240 V; 50 / 60 Hz |
氮气抽速 | 67 l/s |
前级泵在 50 Hz 时的泵送速度 | 1 m3/h |
极限真空 | <1X10-7 hPa |
真空计 | PKR 361 |
测量范围 | 1X10-9 至 1X103 hPa |
阀门 | EVN 116 |
气体流量 | 可调整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s |
进气口 | DN 16 ISO-KF |
PrismaPro | QMG 250 F1 | QMG 250 F2 | QMG 250 F3 | QMG 250 M1 | QMG 250 M2 | QMG 250 M3 |
检测器 | 法拉第 Faraday (F) | 电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M) | ||||
质量数 amu | 1–100 | 1–200 | 1–300 | 1–100 | 1–200 | 1–300 |
四极杆直径／长度 | 6 /125 mm | |||||
最小检测极限 F hPa *1,2 | 4X10-13 | 5X10-13 | 7X10-13 | - | - | - |
最小检测极限 M hPa *1,2 | - | - | - | 3X10-15 | 4X10-15 | 5X10-15 |
对Ar的灵敏度 F A/hPa*3 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 |
最大工作压力 F hPa | 5X10-4 | |||||
最大工作压力 M hPa | - | - | - | 5X10-5 | 5X10-5 | 5X10-5 |
对临近质量数的影响*1 | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm |
操作温度 分析 | 200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) | |||||
操作温度 电子 | 5 – 50 °C | |||||
烘烤温度 分析 | 300 °C | |||||
连接法兰 | DN 40 CF-F | |||||
保压时间 | 1 ms – 16 s/amu | |||||
峰比值可重复性 | ± 0.5 % | |||||
接口 | 以太网 | |||||
电源电压 | 100–240 V AC，50/60 Hz | |||||
HiCube™ RGA重量 | 25.5 - 26.2 kg | |||||
残余气体分析仪 Hicube RGA 典型应用
残余气体分析: 对真空系统中残余气体的分析, 可以获知在达到所需的最终压力或调节要求时, 残余物质的组成. 由此可以得出各种有关系统表面性质, 脱附行为, 纯度和密封性以及工艺气体成分的结论. 这将为您提供有关真空室或真空组件状态的重要信息.
泄漏检测: 上海伯东 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA 具有氦气泄漏检测模式, 可以通过软件控制激活. 此功能可以方便您发现真空系统中的任何泄漏.
过程监控: HiCube RGA 可以在最大 300u 的测量范围内随时间观察任意数量的选定质量强度, 并可对选定的各质量分配警报循环阈值. 如果它们高于或低于所需极限, 则可以通过数字输出将信号提供给更高级别的控制系统. 因此残余气体分析仪 HiCube RGA 能够提供实时过程观察和控制功能. EVN 116 气体计量阀还可以使真空系统中的压力适应相应过程需求, 此外, 集成式切断阀还允许对泄漏设定点进行快速开/关控制.
质量保证和过程优化: 诸如提供气体成分定量测定, 确定过程气体纯度, 以及监测真空镀膜过程相关气体成分等能力, 残余气体分析仪 HiCube RGA 是过程记录和质量保证中的重要工具. 即使测量正在执行, 所有测量值也会得到存储, 并且可以在不停止测量的情况下追踪. 即使仍在执行测量, 也可以导出测量结果以进行进一步分析.
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