白光干涉仪粗糙度仪以白光干涉技术原理，对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。
技术指标
| 型号 | W1 | |
| 光源 | 白光LED | |
| 影像系统 | 1024×1024 | |
| 干涉物镜 | 标配:10× 选配:2.5×、5×、20×、50×、100× | |
| 光学ZOOM | 标配:0.5× 选配:0.375×、0.75×、1× | |
| 标准视场 | 0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×） | |
XY位移平台 | 尺寸 | 320×200㎜ |
| 移动范围 | 140×100㎜ | |
| 负载 | 10kg | |
| 控制方式 | 电动 | |
| Z轴聚焦 | 行程 | 100㎜ |
| 控制方式 | 电动 | |
| 形貌重复性 | 0.1nm | |
| 粗糙度RMS重复性 | 0.005nm | |
| 台阶测量 | 准确度:0.3%;重复性:0.08%(1σ) | |
| 可测样品反射率 | 0.05%~100% | |
| 主机尺寸 | 700×606×920㎜ | |
中图仪器SuperViewW1白光干涉仪粗糙度仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。
产品功能
1）白光干涉仪粗糙度仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；
2）测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；
3）测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；
4）分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
应用领域
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
结果组成：
1、三维表面结构：粗糙度，波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等；
2、二维图像分析：距离，半径，斜坡，格子图，轮廓线等；
3、表界面测量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；
4、薄膜和厚膜的台阶高度测量；
5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量；
6、微电子表面分析和MEMS表征。
粗糙度分析操作步骤：
1. 将样品放置在夹具上，确保样品状态稳定；
2. 将夹具放置在载物台上；
3. 检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；
4. 使用操纵杆调节三轴位置，将样品移到镜头下方并找到样品表面干涉条纹；
5. 完成扫描设置和命名等操作；
6. 点击开始测量（进入3D视图窗口旋转调整观察一会）；
7. 进入数据处理界面，点击“去除外形"，采用默认参数，点击应用获取样品表面粗糙度轮廓；
8. 进入分析工具模块，点击参数分析，直接获取面粗糙度数据，点击右侧参数标准可更换参数标准，增删参数类型；
9. 如果想获取线粗糙度数据，则需提取剖面线；
10. 进入数据处理界面，点击“提取剖面"图标，选择合适方向剖面线进行剖面轮廓提取；
11. 进入分析工具界面，点击“参数分析"图标，点击右侧参数标准，勾选所需线粗糙度相关参数，即可获取线粗糙度Ra数据。
