--- 产品参数 ---
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- 型号 SJ6000
- 稳频精度 0.05ppm
- 工作温度范围 (0~40)℃
- 存储温度范围 (-20~70)℃
--- 产品详情 ---
激光干涉仪又称为干涉测量装置,是一种利用光的干涉原理来测量物体长度、厚度、形状、折射率等参数的高精度、高灵敏度的测量仪器。具有高精度、高灵敏度、非接触式测量等优点,被广泛应用于工程和科研领域;在工程领域,它可以用于测量材料变形、振动、热膨胀等力学特性;在科研领域,可以用于光学元件表面形貌、复杂形状的物体三维形貌和运动学研究等;在计量领域中可作为长度基准以及设备校准工具。广泛应用于数控机床、激光打标/切割、三坐标、影像仪、精密测量、自动化、机器人、3D打印等领域。
中图仪器SJ6000高速超精密激光干涉仪可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下,还可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析,如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
![530.jpg](https://file1.elecfans.com/web2/M00/89/BD/wKgZomSKeAGAPmIEAAIh-U181Ic304.jpg)
精度高
SJ6000高速超精密激光干涉仪以干涉技术为核心,其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出;采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,保证干涉光路稳定可靠。
功能广
(1)可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;
(2)可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;
(3)可实现对机床回转轴的测量与校准;
(4)可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;
(5)具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;
(6)支持手动或自动进行环境补偿。
![750.jpg](https://file.elecfans.com/web2/M00/96/A7/poYBAGQJSIeAFwSfAAE9DTmvtIw648.jpg)
产品配置
SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件,可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列,依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。
![主要镜组图800.jpg](https://file1.elecfans.com/web2/M00/82/A1/wKgZomRbMPGAZVtCAAG23P3fZHI864.jpg)
主要镜组图
其中,线性镜组为标配,由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析,以及反向间隙修正和螺距补偿。
线性测量应用
SJ6000高速超精密激光干涉仪广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。
![传感器线性精度测量.jpg](https://file1.elecfans.com/web2/M00/82/A1/wKgaomRbMPGATEfUAAG7RZgsWTM010.jpg)
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