另外,关于难以制造p型半导体这一点,使用β-Ga2O3来制作功率元件时,可以将其用作N型半导体,因此也不是什么问题。而且,通过掺杂Sn及Si等施主杂质,可在电子浓度为1016~1019cm-3的大范围内对N型传导特性进行控制(图2)。
图2:N型传导特性的控制范围大
使用β-Ga2O3时,可在大范围内控制N型传导性。实际上,通过掺杂施主杂质,可在1016~1019cm-3范围内调整电子密度。
另外,关于难以制造p型半导体这一点,使用β-Ga2O3来制作功率元件时,可以将其用作N型半导体,因此也不是什么问题。而且,通过掺杂Sn及Si等施主杂质,可在电子浓度为1016~1019cm-3的大范围内对N型传导特性进行控制(图2)。
图2:N型传导特性的控制范围大
使用β-Ga2O3时,可在大范围内控制N型传导性。实际上,通过掺杂施主杂质,可在1016~1019cm-3范围内调整电子密度。
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( 发表人:电子大兵 )