TC-Wafer是将高精度温度传感器镶嵌在晶圆表面，对晶圆表面的温度进行实时测量。通过晶圆的测温点了解特定位置晶圆的真实温度，以及晶圆整体的温度分布，同还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化，获得升温、降温以及恒温过程期间的温度温度数据，从而了解半导体设备的温度均匀度。
- 传输通道数量可定制;
- 优异的软件功能，可用图形及颜色显示温度分布状况;
- 数据可储存调用;
- 可提供温度曲线图，方便直观的看到温度变化趋势
- 真空环境下，温度传感器保持高精度和良好的稳定性
测温范围：-50℃至1200℃
热电偶类型：K型
精度：±0.5℃±0.1%读数
线径：0.127、0.254mm
测温点数：1~68个
传感器引线：可定制
工艺：焊接设计
绝缘材料：石英、Teflon、二氧化硅、陶瓷、PA
测温探头接口：DB37、微型插座
晶圆材质：硅片，蓝宝石，碳化硅等（基材形状和尺寸可定制）
晶圆尺寸：50mm，100mm，150mm，200mm，300mm
真空贯通带：聚酰亚胺扁平电缆，大气压可达10-7Torr（长度由客户指定）
TC-Wafer晶圆温度测量系统应用于许多行业，包括快速热处理 (RTP)、快速热退火 (RTA)、曝光后烘烤 (PEB)、化学气相沉积 (CVD)、物理气相沉积 (PVD)、ION 等应用注入、太阳能电池和许多其他热驱动工艺。智测电子具有高精度温度测量与控制技术和经验，支持产品定制
