晶圆电阻测试仪
独特设计开发的高精度电阻率测量仪器。在半导体基板、导电薄膜基板等研发，检验检查工序或制造生产线上的可以高精度地获得和评估薄层电阻值和电
阻率值。
1）带开关功能的智能面板，方便进行详细设置，。
2）合理紧凑的设计，方便生产与使用。
3）满足从低电阻到高电阻的宽范围的测量。
4）测量因整流引起的误差的电流极性切换 。
5）每次测量开始时会自动调零功能。
6）自动设置最佳电流的自动量程功能。
7）样品厚度校正功能。
8）测量值平均值显示和打印平均值计算功能。
9）半导体温度补偿功能
10）多种温度修正系数输入功能。
11）带有打印数据用的界面。
12）带数据传输接口。
