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芯茂(嘉兴)半导体科技有限公司

芯茂(嘉兴)半导体科技有限公司是一家专注于半导体装备本土化制造的高科技公司。

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芯片制造高精度的激光调阻,电阻修复设备

型号: LMT-300HR

--- 产品参数 ---

  • 激光光源 DPSS Laser (Class 4)
  • 激光波长 1342 nm
  • 激光频率 30KHz
  • 脉冲宽度 20ns
  • 脉冲能量 Max 10uJ/Pulse
  • 光斑尺寸 Φ2~6µm (可変)
  • 基板尺寸 4~12inch
  • 位移精度 ±0.02µm(Wafer stage)
  • 加工时间 ≤10 min

--- 产品详情 ---

高精度的激光调阻,电阻修复设备(Laser Micro Trimming — LMT-300HR)

独家光学设计,自主定位技术,实现高速且高精度的电阻修复。

●配合客户需求,良好的软件客制化服务。

●基于Toray外观检测机 (INSPECTRA) 的设计,设备运行稳定。

●主要部件 (激光光源、光学系统、工作台等) 品质优异,供给稳定。

●及时高效的售后服务。

设备功能:

厚膜芯片电阻器通过丝网印刷形成各层。因为一次在氧化铝基板上形成几百个以上的电阻,印刷状态稍有偏差即电阻值产生偏差。因此实施了调整电阻值的工序“激光修整”。

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    产品型号: LMT-300HR 激光光源:DPSS Laser (Class 4) 激光波长:1342 nm 激光频率:30KHz 脉冲宽度:20ns 脉冲能量:Max 10uJ/Pulse