轮廓仪 EGPRO-512
新型晶圆轮廓检测仪器
型号：
EGPRO-512
--- 产品参数 ---
- 测定尺寸 5寸，6寸，8寸，12寸wafer的Edge，Notch测量
- 机能 校正功能，图像结果，测量数据可以保存
- wafer的厚度测量 500~1400um
- 尺寸精度 +-1um
- 角度校正精度 0.1°
--- 产品详情 ---
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