何谓Hold Lot?
答:芯片需要停下来做实验或产品有问题需工程师判断时的短暂停止则需HOLD LOT;帐点上的状态为Hold,如此除非解決hold住的原因否则无法继续run货
PN(Production Note,制造通报)的目的?
答:(1) 为公布FAB内生产管理的条例。(2) 阐述不清楚和不完善的操作规则。
PN的范围?
答:(1) 强调O.I.或TECN之规定, 未改变(2) 更新制造通报内容(3) 请生产线协助搜集数据(4) O.I.未规定或未限制, 且不改变RECIPE、SPEC及操作程序
何谓MONITOR?
答:对机台进行定期的检测或是随产品出机台时的检测称之为MONITOR,如测微粒子、厚度等
机台的MONITOR项目暂时变更时要填何种文件?
答:Tempory Engineering Change Notice (TECN,暂时工程变更)
暂时性的MONITOR频率增加时可用何种表格发布至线上?
答:Production Note(PN,制造通知)
新机台RELEASE但是OI尚未生效时应填具何种表格发布线上?
答:Tempory Engineering Change Notice (TECN,暂时工程变更)
控片的目的是什幺?(Control wafer)
答:为了解机台未来的run货结果是否在规格内,必须使用控片去试run,并量测所得结果如厚度,平坦度,微粒数…控片使用一次就要进入回收流程。
挡片(Dummy wafer)的目的是什幺?
答:用途有2种:(1) 暖机 (2) 补足机台内应摆芯片而未摆的空位置。挡片可重复使用到限定的时间﹝RUN数、厚度…﹞后,再送去回收。例如可以同时run150片wafer的炉管,若不足150片时必须以挡片补足,否则可能影响制程平坦度等…; High current 机台每次可同时run17片,若不足亦须以挡片补足挡片的
Raw wafer(原物料wafer)有不同的阻值范围吗?
答:是的;阻值范围愈紧的,成本愈贵;例如8~12欧姆用于当产品的原物料,0~100的可能只能用当监控机台微尘的控片
機台狀態的作用?
答:為能清楚地評量機台效率,並告訴線上人員機台當時的狀況
機台狀態可分為那兩大類?
答:(1) UP(2) Down
机台状态定义为availabe可用的状态有那些?
答:RUN : 机台正常,正在使用中BKUP : 机台正常,帮其它厂RUN货IDLE : 机台正常,待料或缺人手TEST : 机台正常,借工程师做工程实验或调整RECIPETEST_CW : 机台正常,正在RUN 控檔片
机台状态定义为SCHEDULE NON-AVAILABLE的有那些?
答:MON_R : 机台正常,依据OI规定进行检查,如每shift/daily/monthlyMON_PM : 机台正常,机台定期维护后的检查PM : OI规定之例行维修时机及项目;如汽车5000KM保养HOLD_ENG : 机台正常,制程工程师澄清与确认产品异常原因,停止机台RUN LOT
在机台当机处理完后;交回制造部时应挂何种STATUS?
答:WAIT_MFG
在工程师借机检查机台调整RECIPE时应挂何种STATUS?
答:TEST
若是机台MONITOR异常工程师借机检查机台时应挂何种STATUS?
答:DOWN
线上发现机台异常时通知工程师时应挂何种STATUS?
答:WAIT_ENG
线上在要将机台交给工程师做PM前等待工程师的时间应挂何种STATUS?
答:WAIT_ENG
工程在将机台修复后交给制造部等制造部处的这段时间应挂何种STATUS?
答:WAIT_MFG
年度维修时应挂何种STATUS?
答:OFF
Muti-Chamber的机台有一个Chamber异常时制造部因为派工ISSUE无法交出Chamber该挂何种STATUS?
答:HOLD_MFG
制程工程师澄清或确认产品异常原因停止机台RUN货时应挂何种STATUS?
答:HOLD_ENG
因工程部ISSUE而成机台不能正常RUN货时应挂何种STATUS?
答:HOLD_ENG
MES或电脑等自动化系统相关问题造成死机要挂何种STATUS?
答:CIM
因为厂务水电气的问题而造成机台死机的问题要挂何种STATUS?
答:FAC
生產線因電力壓降、不穩定造成生產中斷時,機台狀態應掛為?
答:FAC
生產線因MES中斷或EAP連線中斷而造成生產停止,此時機台將態為何?
答:CIM
机台状态EQ status定义的真正用意何在?
答:(1) 机台非常贵重,所以必须知道时间都用到何处了,最好是24小时都用来生产卖钱的产品;能清楚知道时间用到何处,就能进行改善(2) 责任区分,各个状态都有不同的责任单位,如制造部/设备工程师/制程工程师…等
什幺是 T/R?
答:Turn Ratio, 芯片之移动速度; 即1天内移动了几个制程stage
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