WHAT’S “Bank Out”?
答:各部门于Hold Comment下Bank Out之制式Comment并通知当区主管,于MFG确认Hold Comment无误后,于MES作帐,Wafer依Comment处理。
WHAT’S ’Bank Period“?
答:每批存入Bank的Lot自Bank In起,至Bank out止,累积之时间
Bank 适用时机?
答:(1) 客户通知暂停流程/放行之Wafer。(2) 新制程开发,于重点层次预留/放行之Wafer。(3) 经WAT检查后,有问题之Wafer。(4) 经QE检查后,有问题之Wafer。(5) FAB预先生产,且需暂存之Wafer。(6) 特殊原因且经MFG P&Q Section Manager同意之Wafer
Bank Quota?limit?
答:(1) 各部门申请的Bank有一定数量限制,依制造部与各部门讨论而定(2) PC部门则由PC与客户协议,依PC相关规定处理
Bank period规定?
答:(1) PC要求之Bank最长可存放六个月;但若Customer有特殊需求,且经PC与MFG P&Q Manager同意者,则不在此限。(2) Lot Type 为L/T/LF/C/D/Z/V者,存放期限为60天。(3) Lot Type 为P/R/M/E1~9/B者,若非PC所要求,则存放期限为7天且申请时需PC 同意。
FAB內空的FOUP應存放在那些指定位置上?
答:(1) 放在指定的暂存货架上。(2) 放在机台旁的待Run Wip货架上(3) Stocker內
为什幺FOUP 放在STOCK 入口而长时间不进去?
答:Stocker 已满,或不能读取RF ID。
为什幺FOUP会被送至WaferStart出口?
答:RF ID上的FOUP Clean Time 过期,或格式不正确。
何谓Bullet lot?
答:(1) 就是优先权最高的lot (priority 1); (2) lot本身带有特别重要的目的;如客户大量投产前的试run产品,工程部特别重要的实验货,与其它重要目的。
Bullet Lot Management Rule?
答:(1) Priority 皆为1(2) 面交下一站,不得用AMHS System传送。(3) 需提前通知下一站备妥机台。(4) 有工程问题工程部必须优先解决此种lot
列出所有的Lot Priority,并说明其代表的含义
答:Priority 等级从1~5 优先权以1最大5最小Priority 1 :bullet lot(字义”子弹般快的lot“;此lot拥有特殊目的如重要实验,客户大量投片前试run货等。。)priority 2 : hot lot (依MFG/MPC 定义而定;通常为试run货pilot lot, 验证光罩设计的实验lot.。等)priority 3 : delay lot(需要加把劲否则无法准时交给客户的lot)priority 4 : normal lot(按预定进度进行的lot)priority 5 : control wafer(生产线上的控片面)
将Lot 分pirority 优先权的生产管理意义?
答:生产线上众多的lot(可能有2000以上),各有不同的交期与目的,透过操控每批LOT的优先权数字设定来让所有MA知道产品安排的优先级
什幺是RF ID?
答:用来记录FOUP ID與MES對應的芯片ID、刻號、机台的EAP亦是透过RF ID 来和MES沟通了解当站该RUN那一种程序
什幺是stocker?
答:生产线上用来存放FOUP容器的仓储(FOUP有装载芯片和光罩两种)
为什幺FOUP 放在stocker 入口而长时间不进去?
答:(1) Stocker已滿(2) 不能讀取RF ID
什幺FOUP 会被自动传输系统HOLD?
答:有同名的Lot.可根据Hold Reason 找出两个同名Lot 的位置。
当GUI显示说Mapping的片数和MES上的片数不匹配时如何处理?
答:请检查MES上LOT的片数和机台内Mapping出来的片数,若两者不同,请找PE/EE解决;若两者相同,请CALL EAP ENGINEER。
Process完成后GUI显示实际RUN的片数和MES上的数量不匹配时如何处理?
答:请检查MES上LOT的片数和机台内Process完成的片数,若两者不同,请找PE/EE解决;若两者相同,请CALL EAP ENGINEER
GUI显示“FOUP due day is expired”或“FOUP clean due day is empty“时如何处理?
答:检查SmartRF ID中清洗FOUP的时间是否已经过期或时间是空值:若已过期,请换一个FOUP。若是空值,请先做IssueRF ID,
何谓Bank Lot?
答:若芯片有客户要求需要长时间的停止时则需使用BANK LOT;即帐点上的状态为BANK;除非客户再次通知后解除,否则无法往下RUN货
何谓future hold?
答:MES 上的一个功能; 对于未来制程中的某一歩骤,若需要停下来执行实验或检查。。等目的时,可预先提早下future hold
生产线那些地方,可以感测FOUP上的RF ID并回传此FOUP的位置?
答:Stocker 与机台
HOLD住待处理的问题芯片;必须放在何处?
答:放置在指定之HOLD LOT货架上
半导体FAB FAQ100问(2)2009年11月30日 14:36工程师使用的芯片、控挡片;必须放在何处?
答:放置在工程师芯片专用货架上
待run产品 ,必须放在何处?
答:放入STOCKER内或放置在机台旁之货架(推车上)
Fab通常如何定义产品的复杂度?
答:必须经过几道photo layer,有几层poly, 有几层metal越多层越复杂
假设一种产品的制程共有20次photo layer,103个stage 的产品,从投片到出货的周期时间(cycle time)为22天;试问此LOT 的平均T/R是多少?
答:103 stage/22天=4.7
假设一种产品的制程共有20次photo layer,103个stage 的产品,从投片到出货的周期时间(cycle time)为22天;试问平均C/T per layer (每一photo layer的cycle time)是多少?
答:22天/20=1.1
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